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经营范围
发明名称
IMPROVING METHOD FOR CRYSTALLINITY
摘要
申请公布号
JPH0395920(A)
申请公布日期
1991.04.22
申请号
JP19890233935
申请日期
1989.09.07
申请人
CANON INC
发明人
SUGAWA SHIGETOSHI
分类号
C30B33/02;H01L21/20;H01L21/324
主分类号
C30B33/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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