发明名称 ELEMENT ISOLATION METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0395956(A) 申请公布日期 1991.04.22
申请号 JP19890231706 申请日期 1989.09.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IGARASHI TAKASHI;UNO MASAAKI;KANEDA HIROSHI;MORI HARUHISA;OBA TAKAYUKI
分类号 H01L21/76;H01L21/265 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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