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经营范围
发明名称
WORK COIL GAS PURGING DEVICE FOR VAPOR GROWING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0395925(A)
申请公布日期
1991.04.22
申请号
JP19890233130
申请日期
1989.09.08
申请人
KYUSHU ELECTRON METAL CO LTD;OSAKA TITANIUM CO LTD
发明人
OTSUBO TOSHIRO;MATSUDA MASAHIKO;DOI ATSUYUKI
分类号
H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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