| 发明名称 |
METHOD OF AND APPARATUS FOR NEUTRALIZING NITROGEN OXIDES RELEASED DURING METAL ETCHING PROCESSES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PL281893(A1) |
申请公布日期 |
1991.04.22 |
| 申请号 |
PL19890281893 |
申请日期 |
1989.10.18 |
| 申请人 |
BAROWENT OSRODEK BADAWCZO ROZW |
发明人 |
WYPYCH JACEK;WALUS JERZY;TATOJ PIOTR;SARNA JERZY;SZAFER EUGENIUSZ |
| 分类号 |
C01B21/40;C23F1/16;(IPC1-7):C23F1/16 |
主分类号 |
C01B21/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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