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发明名称 CLEANING OF SURFACE OF SOLID
摘要
申请公布号 JPH0394427(A) 申请公布日期 1991.04.19
申请号 JP19890232215 申请日期 1989.09.06
申请人 TAIYO SANSO CO LTD;MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TADA MASUTA;FUKUMOTO HAYAAKI;HATTORI NOBUMI
分类号 B08B7/00;H01L21/304 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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