| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0395045(A) |
申请公布日期 |
1991.04.19 |
| 申请号 |
JP19890229508 |
申请日期 |
1989.09.05 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
HAYASHI KAZUYUKI;ISHIZUKA MITSUHIRO |
| 分类号 |
B65H1/28;B65G1/00;B65G1/07;B65H3/24;H01L21/50 |
主分类号 |
B65H1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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