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发明名称 MANUFACTURE OF SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0394416(A) 申请公布日期 1991.04.19
申请号 JP19890230501 申请日期 1989.09.07
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 OKABAYASHI OSAMU
分类号 H01L21/02;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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