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发明名称 TROCKENES AETZVERFAHREN FUER EINE SILIZIUMNITRIDSCHICHT.
摘要
申请公布号 DE3582146(D1) 申请公布日期 1991.04.18
申请号 DE19853582146 申请日期 1985.12.26
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SHIN, TESHIKI, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP
分类号 H01L21/302;H01L21/145;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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