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发明名称 VERFAHREN ZUR FOTOLITHOGRAFISCHEN STRUKTURIERUNG EINER DIELEKTRISCHEN SCHICHT
摘要
申请公布号 DD289158(A5) 申请公布日期 1991.04.18
申请号 DD19890334432 申请日期 1989.11.10
申请人 VEB FORSCHUNGSZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN,DE 发明人 KELM,GEORG,DE;JUNGNICKEL,GOTTHARD,DE;LIPPMANN,FRANK-JOCHEN,DE
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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