VERFAHREN ZUR DIE AUSBILDUNG VON GETTERFAEHIGEN ZENTREN INDUZIERENDEN OBERFLAECHENBEHANDLUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN UND DADURCH ERHAELTLICHE BEIDSEITIG POLIERTE SCHEIBEN
摘要
申请公布号
DE3934140(A1)
申请公布日期
1991.04.18
申请号
DE19893934140
申请日期
1989.10.12
申请人
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH, 8263 BURGHAUSEN, DE
