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发明名称 ULTRASONIC CLEANER AND ULTRASONIC CLEANING
摘要
申请公布号 JPH0393230(A) 申请公布日期 1991.04.18
申请号 JP19890229135 申请日期 1989.09.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 HAMANO MEGUMI;OTAKE MITSUYOSHI;WATANABE MASAHIRO
分类号 B08B3/12;H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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