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发明名称 SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0394057(A) 申请公布日期 1991.04.18
申请号 JP19890232532 申请日期 1989.09.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HIRANO RYUMA;HIRAO TAKASHI
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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