发明名称 PRODUCTION OF ALUMINUM NITRIDE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0393687(A) 申请公布日期 1991.04.18
申请号 JP19890229245 申请日期 1989.09.06
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KATSUBE SEIJI
分类号 C04B41/87;C04B41/91 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
主权项
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