| 发明名称 |
FORMATION OF IRON NITRIDE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0394053(A) |
申请公布日期 |
1991.04.18 |
| 申请号 |
JP19890231241 |
申请日期 |
1989.09.06 |
| 申请人 |
RICOH CO LTD |
发明人 |
KINOSHITA MIKIO;OTA WASABURO;SATO TATSUYA |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/32;G11B5/187;G11B5/31;G11B5/64;G11B5/66;G11B5/84 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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