发明名称 FUNCTION DISCRIMINATING METHOD FOR SEMICONDUCTOR CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0392970(A) 申请公布日期 1991.04.18
申请号 JP19890229150 申请日期 1989.09.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 YOSHIDA CHIKAKO;YOKOMIZO KOICHI
分类号 H01L21/66;G06F17/50 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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