| 摘要 |
<p>Beschrieben wird eine Vorrichtung zur Messung mechanischer Kräfte und Kraftwirkungen, die mit Hilfe mikromechanischer Verfahren hergestellt wird. Solche Vorrichtungen bestehen aus mehreren Elementen, wie Gehäuse, Tragekörper und Sensorelement, die mit Bonding- oder Klebetechnik zusammengefügt sind. Sowohl Spannungen aufgrund unterschiedlicher Eigenschaften der verwendeten Materialien, als auch Spannungen aus dem Verbindungsverfahren, werden auf das Sensorelement übertragen und begrenzen die Meßgenauigkeit der Vorrichtung. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, daß der Tragekörper und/oder das Sensorelement zur Vermeidung mechanischer Spannungen Schwachstellen aufweisen. Die Vorrichtung kann preiswert hergestellt werden und eignet sich für den Einsatz in der Automobil- und Haushaltsindustrie sowie in der industriellen Meßtechnik.</p> |
