发明名称 POSITION DETECTION METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0411966(A3) 申请公布日期 1991.04.17
申请号 EP19900308601 申请日期 1990.08.03
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MATSUGU, MASAKAZU;SAITOH, KENJI;OHWADA, MITSUTOSHI
分类号 G03F9/00;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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