发明名称 VAPORIZATION COOLING SYSTEM INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0391948(A) 申请公布日期 1991.04.17
申请号 JP19890228360 申请日期 1989.09.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOSEKI MAMORU;ISHII YOSHIYUKI
分类号 H01L23/44 主分类号 H01L23/44
代理机构 代理人
主权项
地址