一种光感受器

摘要

在绝缘材料薄片或薄层上形成的静电潜象的无损读出方法和设备。半导体材料薄片或薄层设置于相对靠近该绝缘材料的附近。在该绝缘材料上形成的静电潜象在该半导体材料表面上感生表面耗尽层。当用适当波长的低光强调制后的光束对该半导体材料扫描时，就将在该半导体材料上所储存的各电荷位置和分布状况作为相当于在该半导体材料上所感生的交流表面光电压的模拟电信号而读出，模拟信号的幅值取决于本身的电荷密度。该模拟电信号转换成数字信号，经处理后储存和/或显示出来。

主权项

1.一种光感受器，其特征在于，它包括：a.一个敏感元件，和b.一个读出元件，c.所述敏感元件包括一个光导绝缘体，d.所述读出元件包括：i一个透明基片，ii一个在所述基片顶面上的、起检测电极作用的透明导电层，iii一个在所述导电层顶面上的半导体材料薄层，iv一个在所述半导体材料薄层顶面上的保护绝缘层以及，v一个在所述保护绝缘层顶面上的、起基准电极作用的导电层，所述导电层是栅网状的。