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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0391932(A) 申请公布日期 1991.04.17
申请号 JP19890229085 申请日期 1989.09.04
申请人 CANON INC 发明人 SHINDO HISASHI
分类号 H01L29/78;H01L21/225;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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