| 发明名称 |
LIQUID EPITAXIAL DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0391923(A) |
申请公布日期 |
1991.04.17 |
| 申请号 |
JP19890229733 |
申请日期 |
1989.09.04 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
HASHIMOTO ARIHIRO;YAMAMOTO KOSAKU;KAWACHI TETSUYA |
| 分类号 |
C30B19/06;H01L21/208;H01L21/368 |
主分类号 |
C30B19/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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