NON-CONTACT SURFACE PROFILER.

摘要

Appareil optique à profiler la surface sans contact (10) permettant de définir (i) le profil de surface d'une couche transparente (F) sur un substrat opaque ou absorbant la lumière (W), (ii) le profil de surface d'un substrat opaque ou absorbant la lumière (w) à travers une couche transparente, et (iii) le profil de profondeur d'une couche transparente (F) sur une surface opaque ou absorbant la lumière (W). Un microscope, dont la configuration est alternativement en mode interférométrique et en mode spectrophotométrie, fournit respectivement les données de phase à partir d'un modèle d'interférence et les données de réflexion à partir d'un modèle de réflexion. Un dispositif photosensible (28) reçoit les modèles d'interférence et de réflexion et transmet à un dispositif de calcul (32) les données de phase et de réflexion correspondantes. Ledit dispositif de calcul (32) traite les données de manière à définir quels sont les profils d'épaisseur de la couche ou les profils de surface appropriés.