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经营范围
发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0390569(A)
申请公布日期
1991.04.16
申请号
JP19890227769
申请日期
1989.09.02
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MITOBE YOSHIHIRO;MAKINO KENICHI
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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