METHOD FOR MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH ONTO SUBSTRATE PROVIDED WITH STEP PART,申请号JP19890227044-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH ONTO SUBSTRATE PROVIDED WITH STEP PART
摘要
申请公布号	JPH0391235(A)	申请公布日期	1991.04.16
申请号	JP19890227044	申请日期	1989.09.01
申请人	NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>	发明人	ARAI KUNIHIRO;ISHII YASUNOBU;KONDO YASUHIRO;SATO NORIFUMI
分类号	H01L21/203	主分类号	H01L21/203
代理机构		代理人
主权项
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