发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING DIAMOND FILM
摘要
申请公布号 JPH0388799(A) 申请公布日期 1991.04.15
申请号 JP19900132226 申请日期 1990.05.22
申请人 NIPPON SOKEN INC 发明人 YAMAMOTO MINORU;NAKAMURA SATOSHI;ITO NOBUE;HATTORI TADASHI
分类号 C30B25/10;C30B29/04 主分类号 C30B25/10
代理机构 代理人
主权项
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