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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0389553(A) 申请公布日期 1991.04.15
申请号 JP19890226332 申请日期 1989.08.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 FURUTA KOJI;NISHIDA SOICHI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/41;H01L29/43 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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