发明名称 MANUFACTURE OF FILM CARRIER WITH BUMP
摘要
申请公布号 JPH0389527(A) 申请公布日期 1991.04.15
申请号 JP19890224474 申请日期 1989.09.01
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 SATO SHINYA
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址