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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0389530(A) 申请公布日期 1991.04.15
申请号 JP19890226622 申请日期 1989.08.31
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 WATANABE NOBORU
分类号 H01L21/30;H01L21/66 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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