| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR PRODUCTION EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0389515(A) |
申请公布日期 |
1991.04.15 |
| 申请号 |
JP19890226217 |
申请日期 |
1989.08.31 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
YAMADA TETSUAKI;SHIMIZU OSAMU;HATAISHI OSAMU |
| 分类号 |
H01L21/324;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/324 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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