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发明名称 LAYOUT EDITOR
摘要
申请公布号 JPH0388073(A) 申请公布日期 1991.04.12
申请号 JP19890225872 申请日期 1989.08.31
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 TAMURA MICHIMOTO
分类号 H01L21/3205;G06F17/50;H01L21/82;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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