Process and apparatus for coating parts with cubic bornitride or diamond.

摘要

Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Beschichtung von Formteilen aus Graphit und metallischen Werkstoffen mit kubischem Bornitrid und Diamantkohlenstoff beschrieben, wobei die Abscheidung mit einem PACVD-Verfahren gleichzeitig auf mehreren Flächen der Formteile erfolgt. Eine notwendige gleichmäßige Temperatur der Formteile erreicht man durch eine Beheizung mit Elektroden im direkten Stromdurchgang.