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发明名称 METHODS OF MANUFACTURING MIS SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 EP0409561(A3) 申请公布日期 1991.04.10
申请号 EP19900307802 申请日期 1990.07.17
申请人 SONY CORPORATION 发明人 ITO, SHINICHI, C/O PATENTS DIVISION;HOSHI, NAOYA, C/O PATENTS DIVISION;OKAMOTO, YUTAKA, C/O PATENTS DIVISION
分类号 H01L21/225;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
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