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经营范围
发明名称
METHOD OF DEVELOPING RADIATION SENSITIVE NEGATIVE RESISTS
摘要
申请公布号
EP0188568(B1)
申请公布日期
1991.04.10
申请号
EP19850903740
申请日期
1985.07.08
申请人
HUGHES AIRCRAFT COMPANY
发明人
BRAULT, ROBERT, G.
分类号
G03F7/32
主分类号
G03F7/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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