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经营范围
发明名称
MODE-SETTING APPARATUS FOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH0384959(A)
申请公布日期
1991.04.10
申请号
JP19890220279
申请日期
1989.08.29
申请人
NEC CORP
发明人
SANO KOICHI
分类号
H01L27/04;H01L21/822
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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