发明名称 METHOD OF FORMING DIELECTRIC ISOLATION
摘要
申请公布号 EP0166141(B1) 申请公布日期 1991.04.10
申请号 EP19850105717 申请日期 1985.05.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 JAMBOTKAR, CHAKRAPANI GAJANAN
分类号 H01L21/76;H01L21/28;H01L21/762;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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