发明名称 IDENTIFICATION DEVICE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS IDENTIFICATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0385738(A) 申请公布日期 1991.04.10
申请号 JP19890223411 申请日期 1989.08.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HONDA HIROSHI;YOKOYAMA NAOMI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址