发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0384926(A) 申请公布日期 1991.04.10
申请号 JP19890221988 申请日期 1989.08.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 DANSUI YOSHITAKA
分类号 H01L21/306;B08B3/00 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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