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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0384926(A)
申请公布日期
1991.04.10
申请号
JP19890221988
申请日期
1989.08.29
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
DANSUI YOSHITAKA
分类号
H01L21/306;B08B3/00
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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