发明名称 MEASURING PROBE FOR PLASMA
摘要
申请公布号 JPH0384899(A) 申请公布日期 1991.04.10
申请号 JP19890221089 申请日期 1989.08.28
申请人 RIKAGAKU KENKYUSHO;NIPPON KOSHUHA KK 发明人 AMAMIYA HIROSHI;ITAYA RYOHEI;SHINOHARA KIBATSU
分类号 H05H1/00 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
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