发明名称 |
PROCESS, APPARATUS AND EQUIPMENT NECESSARY FOR DEPOSITING A THIN LAYER OF A MATERIAL ON THE INNER SURFACE OF A HOLLOW OBJECT |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0233825(B1) |
申请公布日期 |
1991.04.10 |
申请号 |
EP19870420013 |
申请日期 |
1987.01.13 |
申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) |
发明人 |
MACKOWSKI, JEAN-MARIE |
分类号 |
C30B29/04;C03C17/22;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50 |
主分类号 |
C30B29/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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