发明名称 PROCESS, APPARATUS AND EQUIPMENT NECESSARY FOR DEPOSITING A THIN LAYER OF A MATERIAL ON THE INNER SURFACE OF A HOLLOW OBJECT
摘要
申请公布号 EP0233825(B1) 申请公布日期 1991.04.10
申请号 EP19870420013 申请日期 1987.01.13
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 发明人 MACKOWSKI, JEAN-MARIE
分类号 C30B29/04;C03C17/22;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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