PROCESS FOR PRODUCING MULTILAYER SILICON STRUCTURES,申请号GB19910003698-传众专利搜索

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发明名称	PROCESS FOR PRODUCING MULTILAYER SILICON STRUCTURES
摘要
申请公布号	GB9103698(D0)	申请公布日期	1991.04.10
申请号	GB19910003698	申请日期	1991.02.22
申请人	ROBERT BOSCH GMBH	发明人
分类号	H01L21/02;G01L9/00;H01L21/18;H01L29/84	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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