发明名称 POST PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0383337(A) 申请公布日期 1991.04.09
申请号 JP19890218523 申请日期 1989.08.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUKUYAMA RYOJI;NAWATA MAKOTO;KAKEHI YUTAKA;KAWAHARA HIRONORI
分类号 H01L21/302;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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