发明名称 ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 JPH0383335(A) 申请公布日期 1991.04.09
申请号 JP19890218530 申请日期 1989.08.28
申请人 HITACHI LTD;HITACHI KASADO ENG KK 发明人 FUJII TAKASHI;KAWAHARA HIRONORI;TAKADA KAZUO;SAIKAI MASAHARU;YAMAMOTO NORIAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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