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经营范围
发明名称
ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号
JPH0383335(A)
申请公布日期
1991.04.09
申请号
JP19890218530
申请日期
1989.08.28
申请人
HITACHI LTD;HITACHI KASADO ENG KK
发明人
FUJII TAKASHI;KAWAHARA HIRONORI;TAKADA KAZUO;SAIKAI MASAHARU;YAMAMOTO NORIAKI
分类号
H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/3213
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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