GASEOUS PHASE GROWTH DEVICE,申请号JP19890219544-传众专利搜索

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发明名称	GASEOUS PHASE GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0383893(A)	申请公布日期	1991.04.09
申请号	JP19890219544	申请日期	1989.08.25
申请人	SUMITOMO METAL IND LTD	发明人	YAMAMOTO TOSHIRO
分类号	C30B25/08;H01L21/205	主分类号	C30B25/08
代理机构		代理人
主权项
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