发明名称 APPARATUS FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0383888(A) 申请公布日期 1991.04.09
申请号 JP19890219424 申请日期 1989.08.25
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;JAPAN SILICON CO LTD 发明人 NAKAYAMA KOICHI;HARADA KAZUHIRO;SHIMANUKI YASUSHI
分类号 C30B15/14;C30B29/06 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
地址