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发明名称
PRESSURE REDUCING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0384266(A)
申请公布日期
1991.04.09
申请号
JP19890217732
申请日期
1989.08.24
申请人
FUJITSU LTD
发明人
NISHIBE HARUHITO;KANAZAWA MASAO
分类号
F16J15/00;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
F16J15/00
代理机构
代理人
主权项
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