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经营范围
发明名称
DIFFUSION PROCESS FOR IMPURITY INTO SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH0383329(A)
申请公布日期
1991.04.09
申请号
JP19890220773
申请日期
1989.08.28
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
TSUBAKI KAZUHIKO;UNO TOSHIHIKO;NAGASAWA YOJI;NAGURA HIDEAKI
分类号
H01L21/223
主分类号
H01L21/223
代理机构
代理人
主权项
地址
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