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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0382779(A) 申请公布日期 1991.04.08
申请号 JP19890217367 申请日期 1989.08.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAKEHI YUTAKA;KOBAYASHI JUNICHI;TSUBONE TSUNEHIKO
分类号 C23C14/34;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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