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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0382153(A) 申请公布日期 1991.04.08
申请号 JP19890218849 申请日期 1989.08.25
申请人 SONY CORP 发明人 KURODA HIDEAKI;ITO SHINICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/8238;H01L23/52;H01L27/092 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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