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发明名称 VERTICAL TYPE VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0382016(A) 申请公布日期 1991.04.08
申请号 JP19890218069 申请日期 1989.08.24
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD;TOSHIBA CORP 发明人 KITAYAMA HIROBUMI;MIYAZAKI SHINJI
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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