发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR FORMING THIN FILM BY DIRECT LITHOGRAPHY USING LASER
摘要
申请公布号 JPH0380534(A) 申请公布日期 1991.04.05
申请号 JP19890217911 申请日期 1989.08.23
申请人 NEC CORP 发明人 NANBU YOSHIHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/205;H01L21/285 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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